Modulare Fertig-Reinräume sind eine Art Reinraum, der die Sauberkeit der Geräte schnell verbessern kann. Sie werden häufig in der Optik, in elektronischen Montagelinien, in Labors und in lokalen Reinigungsbereichen in Montagebereichen eingesetzt.
Modulare Fertig-Reinräume werden mit FFU-Lufterzeugung ausgestattet, mit industrialisiertem Aluminium (Edelstahl oder lackierter Stahl) als Rahmen und statikfreiem Aufkleber (oder Karbonglas). Dadurch kann die Sauberkeit des Reinraums 10-300K erreichen.
| FED STD 209E | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Stufe | >=0,1 um | >=0,2 um | >=0,3 um | >=0,5 um | >=5 um | Äquivalent |
| 1 | 35 | 7 | 3 | 1 | ISO3 | |
| 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | ISO4 | |
| 100 | 100 | ISO5 | ||||
| 1000 | 1000 | 7 | ISO6 | |||
| 10000 | 10000 | 70 | ISO7 | |||
| 100000 | 100000 | 700 | ISO8 | |||
| ISO 14644-1 Reinraumstandards | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Stufe | >=0,1 um | >=0,2 um | >=0,3 um | >=0,5 um | >=1 um | >=5 um | Äquivalent |
| ISO1 | 10 | 2 | |||||
| ISO2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | 1 | |
| ISO4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | 10 | |
| ISO5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 100 |
| ISO6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 1000 |
| ISO7 | 352000 | 83200 | 2930 | 10000 | |||
| ISO8 | 3520000 | 832000 | 29300 | 100000 | |||
| ISO9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | Raumluft | |||
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