Lösungen für Reinräume in der Halbleiter- und Elektronikindustrie

• Extreme Sauberkeitsanforderungen: Dominiert von ISO 5-7-Klassen (Klasse 100-10.000), wobei fortschrittliche Verpackungsbereiche ISO 4 (Klasse 10) zur Kontrolle von Partikeln ≥0,1 μm erfordern.
• Multidimensionale Kontrolle: Gleichzeitige Steuerung von Temperatur (20-24℃±0,1℃), Luftfeuchtigkeit (40-50%±2%), Vibration (≤50μm/s) und statischer Elektrizität (≤100V).
• Internationale Standards: Müssen SEMI S2, ISO 14644 und GMP für Elektronik entsprechen, mit strengen Anforderungen an die Prozessisolierung zwischen verschiedenen Produktionsstufen.

• Filterhierarchie: Vorfilter (G4) + Medium-Effizienz-Filter (F9) + Sub-Hocheffizienz-Filter (H13) + Terminal-ULPA-Filter (99,999% Effizienz für ≥0,12 μm Partikel).
• Luftstromdesign: Vollflächige unidirektionale Strömung (0,45 m/s±20%) in Kernbereichen, mit Luftwechselraten von bis zu 500 Mal/Stunde.
• Druckkontrolle: Gradientendruckdifferenz (≥5Pa zwischen benachbarten Zonen), um Kreuzkontamination zu verhindern.

• Materialmanagement: Luftschleusen für eingehende Materialien, dedizierte Auspack- und Reinigungsverfahren und ultrareines Wasser (18,2 MΩ·cm) mit TOC ≤10ppb.
• Oberflächenbehandlung: Geschweißte Edelstahlwände (304/316L), nahtlose PVC-Böden und silikonfreie Dichtungsmittel.
• Chemische Kontrolle: Lokale Abluftsysteme für Ätzprozesse, mit einer Abscheideeffizienz für saure Gase ≥99%.

• Intelligente Überwachung: Echtzeit-Partikelzähler, Temperatur-/Feuchtigkeitssensoren und IoT-basierte zentralisierte Steuerungssysteme.
• Energieoptimierung: Wärmerückgewinnungsanlagen (Energieeinsparung ≥30%), drehzahlgeregelte Ventilatoren und LED-Reinraumbeläuchtung.
• Wartungsprotokolle: Vierteljährliche HEPA/ULPA-Filterintegritätsprüfung, monatliche Luftstromgeschwindigkeitsüberprüfung und jährliche umfassende Leistungsvalidierung.

• Miniaturisierung: Entwicklung hin zu Reinräumen der ISO-Klasse 3 (Klasse 1), um sich an 3-nm- und kleinere Prozessknoten anzupassen.
• Grüne Innovation: Einsatz von emissionsarmen Materialien und Integration erneuerbarer Energien.
• Digitale Transformation: KI-gestützte prädiktive Wartung und digitale Zwillinge für virtuelle Inbetriebnahme.

Reinräume für Halbleiter benötigen ein Gleichgewicht aus extremer Sauberkeit, Prozessstabilität und betrieblicher Effizienz. Durch die Integration fortschrittlicher Filtertechnologie, präziser Umweltkontrolle und intelligenter Managementsysteme unterstützen diese kritischen Einrichtungen die Herstellung von Hochleistungs-Elektronikkomponenten.