Letzter Unternehmensfall über Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Zertifizierungen

In High-End-Industrien wie der Halbleiterfertigung, der Biomedizin und der Präzisionselektronik bestimmt die Umweltstabilität von Reinräumen direkt die Produktausbeute, die Prozesskonsistenz und die Zuverlässigkeit der Forschung.

Um den immer strengeren Kontrollanforderungen gerecht zu werden, ist die MAU + FFU + DCC (Make-Up Air Unit + Fan Filter Unit + Dry Coil Unit)Architektur zur Mainstream-Lösung für moderne Reinräume geworden. Durch die geschichtete Luftaufbereitung und die intelligente Koordination erreicht dieses System eine präzise Steuerung von Temperatur, Feuchtigkeit, Reinheit und Druckund verbessert gleichzeitig die Energieeffizienz und die betriebliche Flexibilität erheblich. Dieser Artikel erklärt systematisch die wichtigsten Steuerungstechnologien hinter dem MAU + FFU + DCC-System und zeigt, wie eine multidimensionale Koordination eine stabile, hochleistungsfähige Reinraumumgebung schafft.

Das MAU + FFU + DCC-System verwendet eine hierarchische Luftaufbereitungsstrategie, wobei jedes Subsystem eine dedizierte Funktion ausführt:

• Primäre Temperatur- und Feuchtigkeitsregulierung
• G4 + F8 Mehrstufenfiltration
• Stabile Versorgung mit konditionierter Außenluft

• HEPA- oder ULPA-Filtration
• Unidirektionale Luftstromzufuhr
• Unterstützt ISO-Klasse 5 bis ISO-Klasse 1-Umgebungen

• Lokales Temperatur-Trimming
• Schneller Ausgleich für Geräte-Wärmelasten
• Gewährleistet eine gleichmäßige Raumtemperaturverteilung

Zusammen bietet diese „Vorverarbeitung → Reinigung → Feinsteuerung“Architektur mehr Präzision, Flexibilität und Energieeffizienz als herkömmliche zentralisierte HLK-Systeme.

Temperaturschwankungen sind ein kritisches Risiko in der Präzisionsfertigung. In der Halbleiterlithografie kann beispielsweise eine Abweichung von nur 0,1 °Cdie Ausrichtung des Musters beeinflussen.

Das MAU + FFU + DCC-System erreicht eine mehrstufige Temperaturregelung:

MAU – Primärregulierung

• Adaptive PID-Regelung von Heiz- und Kühlspulen
• Frischlufttemperaturstabilität innerhalb von ±0,5 °C
• Dynamische Reaktion auf Laständerungen

FFU – Luftstromoptimierung

• Gleichmäßiges Matrix-Layout
• Typische Anströmgeschwindigkeit: 0,3–0,5 m/s
• Reduziert thermische Schichtung und lokale Hotspots

DCC – Echtzeit-Wärmekompensation

• Zielt auf Wärme von Lithografiewerkzeugen, Bioreaktoren, Ätzanlagen ab
• Passt den Kühlwasserfluss sofort an
• Hält die Raumtemperatur innerhalb von ±0,2 °C

gleichmäßig
FallbeispielEine 12-Zoll-Halbleiterfabrik erreichte eine Raumstabilität von ±0,1 °Cnach der Implementierung einer koordinierten MAU-DCC-Steuerung, wodurch die Lithografieausbeute um etwa Wenn Sie einen hochpräzisen Reinraum planen oder aufrüsten, ist unser Engineering-Team bereit, Ihnen zu helfen, eine

2. Feuchtigkeitskontrolle: Schutz von Produkten und Geräten

Feuchtigkeit wirkt sich direkt auf elektrostatische Entladung, Korrosion, mikrobielles Wachstum und Prozessstabilität aus.

• MAU – Hauptfeuchtigkeitsanpassung
• Dampf- oder Elektrodenbefeuchter
• Kondensations- oder RotationsentfeuchtungKontrollgenauigkeit bis zu

±2 % rFBeispiel:Gefriertrocknungswerkstätten benötigen typischerweise 30–40 % rF

, um die Feuchtigkeitsaufnahme zu verhindern.

• FFU – Gleichmäßige Verteilung
• Eliminiert stagnierende Zonen und tote Ecken

Verhindert lokale Ansammlung hoher Luftfeuchtigkeit

• MAU + DCC-Koordination
• MAU steuert die absolute Feuchtigkeit
• DCC passt die Spulentemperatur anDie Spulenoberflächentemperatur wird 1–2 °C über dem Taupunkt gehalten

3. Reinheitskontrolle: End-to-End-Partikelmanagement

Reinheit bleibt der Kernleistungsindikator jedes Reinraums.

• MAU-Vorfiltration
• G4-Primärfilter
• F8-Filter mittlerer Effizienz

Entfernt große Partikel und schützt die Lebensdauer der FFU

• FFU-Terminalfiltration
• HEPA: ≥99,97 % bei 0,3 µm
• ULPA: ≥99,999 % bei 0,12 µm

Unterstützt ISO-Klasse 5 und höher

• Luftstromorganisation
• Vertikaler unidirektionaler FlussFFU-Abdeckung:
• 60–100 %

Erzeugt einen stabilen Kolbeneffekt, der Verunreinigungen in Richtung der Rückluftgitter drückt
LeistungsreferenzBei einer Luftstromgeschwindigkeit von 0,45 m/s
kann die Partikelkonzentration ≥0,5 µm aufWenn Sie einen hochpräzisen Reinraum planen oder aufrüsten, ist unser Engineering-Team bereit, Ihnen zu helfen, eine

4. Druckregelung: Verhinderung von Kreuzkontaminationen

Überdruck stellt sicher, dass saubere Bereiche vor externer Kontamination geschützt bleiben.

• Frischluftvolumenregelung (MAU)
• Differenzdrucksensoren überwachen den RaumdruckTypische Druckdifferenz:

10–30 Pa

• Hierarchische Zonierung
• Zwischen ISO-Klasse 5 und ISO-Klasse 7 BereichenDruckgradient:

5–10 Pa

• Notfallschutz
• Automatische Alarme, die durch Druckabfall ausgelöst werden
• Notfallventilatoren werden sofort aktiviert

III. Intelligente Steuerung: Von der manuellen Anpassung zum autonomen Betrieb

• 1. Zentralisierte Überwachung (SPS / DCS)
• Echtzeitüberwachung von über 30 Parametern
• Trendanalyse und historische Datenspeicherung

2. Adaptive Steuerungsalgorithmen

• Wenn ein Werkzeug mit hoher Last den Betrieb aufnimmt, wird das System automatisch:
• Erhöht die Kühlspulenkapazität
• Erhöht die DCC-AusgabeStellt die Umweltstabilität innerhalb von

wieder her

• 3. Vorausschauende Wartung
• Kontinuierliche Überwachung von:
• FFU-Motorstrom

Filterdruckabfall

• DCC-Spulenleistung
• Ermöglicht die Früherkennung von:
• Motoralterung

Abnormaler Luftwiderstand

• 4. Energieoptimierung
• KI-gestützte Optimierung reguliert:
• FFU-Betriebsmenge

FrischluftverhältnisTemperatur- und FeuchtigkeitslastanpassungFührt zu

• IV. Inbetriebnahme und LeistungsoptimierungEinzelgeräte-Inbetriebnahme
• MAU:Inverterprüfung, Filterwiderstand, T/H-Reaktion
• FFU:Luftstromgleichmäßigkeit (±10 %), HEPA-Leckagetest, Geräusch ≤65 dB

• Wasserflussgenauigkeit (±5 %), Wärmeaustauschverifizierung
• Integrierte Inbetriebnahme
• Simulierte Extrembedingungen

• Über 50 Überwachungspunkte mit 10-Sekunden-Protokollierung
• Kontinuierliche Optimierung
  • Variable FFU-Steuerung während des Teillastbetriebs
  • Typische Filterwechselzyklen:
  • Primär: 1–3 Monate

HEPA: 2–3 JahreSchlussfolgerung: Intelligente Steuerung für hochpräzise ReinräumeDas

MAU + FFU + DCC

Reinraumsystem stellt einen Übergang von der grundlegenden Konformität zu einer intelligenten, schlanken Umweltkontrolle dar.

• Durch die koordinierte Verwaltung von Temperatur, Feuchtigkeit, Reinheit und Druck – unterstützt durch fortschrittliche Automatisierung und prädiktive Analysen – bietet diese Architektur die Stabilität und Präzision, die für die Halbleiterfertigung, die Biotechnologie und andere High-End-Anwendungen erforderlich sind.
• Als professioneller Anbieter von Reinraumtechnik-Lösungen bieten wir:
• Systemdesign
• Geräteauswahl
• Integration der intelligenten Steuerung

Inbetriebnahme und OptimierungUnterstützung über den gesamten LebenszyklusWenn Sie einen hochpräzisen Reinraum planen oder aufrüsten, ist unser Engineering-Team bereit, Ihnen zu helfen, eine