Im Zeitalter der rasanten technologischen Entwicklung haben Quantumchips als Kernkomponenten im Bereich der Spitzentechnologie äußerst strenge Anforderungen an die Produktionsumgebung.Guangzhou Cleanroom Construction Co.., Ltd., ein professioneller Hersteller von Reinigungsgeräten mit langjähriger Erfahrung in der Branche, wird heute den Bauprozess von Reinräumen für die Herstellung von Quantenchips vorstellen.
1. Vorprojektplanung und Bedarfsanalyse
Der erste Schritt beim Aufbau eines Reinraums für Quantenchips ist von großer Bedeutung.Aus der Chip-Lithographie, Ätzung, Ablagerung auf Verpackungen und andere Verfahren, haben verschiedene Schritte unterschiedliche Anforderungen an Umweltparameter wie Temperatur, Feuchtigkeit, Anzahl der Staubpartikel,und elektrostatische Steuerung- enge Kommunikation mit Chipherstellern, - auf der Grundlage ihrer Produktionsskala und technischen Routen, - genaue Bestimmung der Fläche und des Layouts der Werkstatt,und Planung der Flussrichtung des Personals, Materialien und Produkte, um sicherzustellen, dass die drei Ströme nicht miteinander in Konflikt geraten und eine Kreuzkontamination vermieden wird, was eine solide Grundlage für eine effiziente Produktion in Zukunft schafft.
2Bestimmung des Reinigungsniveaus
Die Herstellung von Quantenchips erfordert in der Regel ein extrem hohes Reinigungsniveau, in der Regel ISO-Klasse 3 oder sogar höher.1 Mikrometer pro Kubikmeter Luft muss streng auf einstellige Zahlen begrenzt werden- Entsprechend der Präzision des Chip-Herstellungsprozesses, bestimmen Sie die Reinigungsniveaus verschiedener Bereiche wie des Lithographiebereichs und des ultra-sauberen Testbereichs,so konfiguriert werden, dass die Reinigungsgeräte, um sicherzustellen, daß der Chip nicht durch Staubverunreinigungen auf Mikroebene gestört wird und die Chip-Ausbeute garantiert wird.
3Architektonische Strukturen
Die Architektur der Werkstatt muss den Anforderungen an die Reinigung angepaßt werden.und antistatische MaterialienFür die Wände können farblich beschichtete Stahlplatten mit nahtlosen Gelenken ausgewählt werden; für den Boden kann Epoxidhalter verwendet werden, der verschleißfest, korrosionsbeständig und antistatisch ist.;die Decke ist für Menschen zugänglich, was für die spätere Wartung der Ausrüstung geeignet ist.Hocheffiziente Luftpartikelfilter (HEPA) und Ultra-Low-Penetration-Luftfilter (ULPA) werden installiert, um eine gleichmäßige Luftzufuhr und stabile und lang anhaltende Reinigungseffekte zu gewährleisten..
4Auswahl und Installation von Luftreinigungssystemen
Dies ist die Kernverbindung, bestehend aus Klimaanlagen, Versorgungs- und Rückluftkanälen, Filtern usw. Die Klimaanlage sollte mehrere Funktionen wie Kühlung, Heizung,Befeuchtung, Entfeuchtung und Luftfilterung, die Temperatur und Luftfeuchtigkeit mit einem sehr geringen Fehlerbereich genau regulieren.Die Versorgungs- und Rückluftkanäle sind entsprechend der Anordnung der Werkstatt angemessen geplant., und hochwertige galvanisierte Stahlbleche werden verwendet, um die Luftdichte zu gewährleisten und zu verhindern, dass Luftlecks zur Reinigungsstörung führen.Der primäre Filter entfernt große Staubpartikel, der mittelwirksame Filter reinigt die Luft weiter,und die hocheffizienten und ultra-hoheffizienten Filter sorgen für eine nahezu sterile und staubfreie ultra-saubere Luft für den Chip-Fertigungsbereich.
5Elektrostatische und Mikrovibrationssteuerung
Quantenchips sind extrem empfindlich gegenüber statischer Elektrizität. Eine kleine elektrostatische Entladung kann den Chip beschädigen. Professional electrostatic elimination equipment such as ion fans and electrostatic grounding systems are equipped in the workshop to ensure that the electrostatic potential is within the safe thresholdGleichzeitig werden unter Berücksichtigung der durch den Betrieb von Geräten und die Bewegung des Personals erzeugten Mikrovibrationen von der Gebäudebasis an Stoßdämpfer entwickelt. and shock - absorbing pads are also equipped for equipment installation to prevent the micro - vibrations from being transmitted and affecting the accuracy of precision processes such as chip lithography.
6Unterstützung von Wasser-, Strom- und Gassystemen
Eine stabile und zuverlässige Versorgung mit Wasser, Strom und Gas ist die Garantie für den Betrieb der Werkstatt.die Anforderungen von Verfahren wie Reinigung und Ätzen erfüllen, und die Wasserqualität erreicht den Standard von ultrareinem Wasser in elektronischer Qualität.mit einer ununterbrochenen Stromversorgung (UPS) ausgestattet, um plötzliche Stromausfälle zu bewältigen und den kontinuierlichen Betrieb von Schlüsselgeräten sicherzustellenDas Gassystem verteilt spezielle Gase wie Stickstoff und Argon exakt. Die Rohrleitungen sind streng versiegelt und gereinigt, um zu verhindern, dass die Verunreinigung durch Gas die Chipqualität beeinträchtigt.
7Installation und Inbetriebnahme von Geräten
Die Reinigungsanlagen und die Produktionsanlagen werden nacheinander installiert, wobei die Installationsanweisungen streng beachtet werden müssen, um sicherzustellen, dass die Anlagen eben, stabil und stabil sind.,Nach der Installation wird die gemeinsame Inbetriebnahme durchgeführt. Die Produktionsbedingungen simuliert, die Reinigungseffekte, Temperatur- und Luftfeuchtigkeitskontrolle umfassend getestet,und Verriegelung von Geräten, und die Parameter wiederholt anpassen, bis alle Indikatoren den Konstruktionsanforderungen entsprechen, wodurch eine perfekte Produktionsumgebung für die formale Produktion von Quantenchips geschaffen wird.
Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd., mit seinem professionellen Team und fortschrittlicher Technologie, kontrolliert jedes Detail des Bauprozesses von Reinräumen für Quantenchips,Unterstützung von Quantentechnologieunternehmen, um ein höheres Niveau zu erreichen und eine neue Reise der Massenproduktion von Quantenchips zu beginnenWenn Sie Ansprüche auf den Bau von Reinräumen haben, können Sie uns bitte kontaktieren.