Im Bereich der Halbleiter entwickelt sich eine technologische Revolution, die von neuen Materialien angetrieben wird.hat neue Wege für die Forschung und Entwicklung leistungsstarker Halbleitergeräte mit ihren hervorragenden Eigenschaften geebnetUm es jedoch von Laborergebnissen in eine groß angelegte industrielle Produktion zu verwandeln, ist ein staubfreier Reinraum, der seinen Eigenschaften entspricht, unerlässlich.., Ltd. , die sich seit vielen Jahren intensiv mit der Reinigungsindustrie beschäftigt,wird Sie umfassend zu verstehen, die wichtigsten Punkte im Bau von staubfreien Reinräumen für tiefblaue Gallium-Oxid-Halbleiter heute.
I. Strenge Kontrolle der Reinigungsgrade
Der Produktionsprozeß für tiefblaue Gallium-Oxid-Halbleiter ist äußerst empfindlich gegenüber Verunreinigungen wie Staub und Mikroorganismen.und Ätzen, können sogar winzige Partikel, die "eingemischt" sind, Kurzschlüsse in Chips verursachen, Leistungsabnahme und eine signifikante Verringerung der Ausbeute.Der Reinigungsgrad in der Werkstatt muss in der Regel die Normen der Klasse 10 oder sogar höher erreichen.Dies bedeutet, daß die Anzahl der Staubpartikel mit einer Partikelgröße von mehr als 0,5 Mikrometer in jedem Kubikmeter Luft streng unter 10 kontrolliert wird.Guangzhou Kunling übernimmt weltweit führende Luftfiltertechnologien- von der Primärfiltration, um große Staubpartikel abzufangen, bis hin zur mittleren Effizienzfiltration, um mittlere Verunreinigungen zu erfassen,und dann durch hocheffiziente Luftpartikelfilter (HEPA) und Ultra-Low-Penetration-Luftfilter (ULPA) für die Schicht-für-Schicht-Screening, sorgt sie dafür, daß die in die Werkstatt eingehende Luft nahezu frei von Verunreinigungen ist und legt damit ein reines Fundament für die Präzisionsproduktion.
II. Präzise Temperatur- und Luftfeuchtigkeitskontrolle
Die elektrischen Eigenschaften und die Stabilität der Kristallstruktur von Halbleitermaterialien aus Galliumoxid variieren unter unterschiedlichen Temperatur- und Luftfeuchtigkeitskonditionen erheblich.Der geeignete Temperaturbereich liegt in der Regel zwischen 22 °C und 25 °CDie Werkstatt ist mit einem intelligenten Temperatur- und Luftfeuchtigkeitsregelungssystem ausgestattet.Durch hochpräzise Sensoren, die Umweltdaten in Echtzeit überwachenWenn die Temperaturen an heißen Sommertagen steigen, können wir uns an die Anlage anpassen.das Kühlmodul funktioniert effizient zur Abkühlung■ wenn es im Winter trocken ist, sprüht die Befeuchtungsanlage genau, um die Luftfeuchtigkeit zu erhöhen,Schaffung eines "Mikroklimas" mit konstanten Temperatur- und Luftfeuchtigkeit, um die Galliumoxidmaterialien und -ausrüstung in einem optimalen Arbeitszustand zu halten und das Risiko von Prozessabweichungen zu verringern.
III. Sorgfältige antistatische Maßnahmen
In der Halbleiterverarbeitung ist statischer Strom ein "versteckter Killer".und das durch statische Elektrizität verursachte Entladungsphänomen kann Transistoren leicht zerbrechen und Chips beschädigenDie Bodenmaterialien bestehen aus antistatischem PVC oder epoxyhaltigem selbstnivellierendem Boden,mit einem streng kontrollierten Oberflächenwiderstand im Bereich von 10^6 - 10^9 Ohm, um statische Elektrizität rasch zu zerstreuenDie Ausrüstung und die Arbeitsplätze sind mit statischen Eliminatoren ausgestattet, und die Ionenventilatoren blasen kontinuierlich positive und negative Ionen aus, um Ladungen zu neutralisieren.Anbieter tragen antistatische Arbeitsbekleidung und Schuhdeckel, voll ausgestattet sind, um die verborgenen Gefahren der Ansammlung und Entladung statischer Elektrizität von der Quelle zu beseitigen und die Unversehrtheit der Produkte zu schützen.
IV. Wissenschaftliche Planung der Belüftungs- und Luftströmungsorganisation
Eine gute Belüftung in der Werkstatt kann nicht nur für frische Luft sorgen, sondern auch dazu beitragen, Abgasen aus dem Abgasprozess abzugeben und Wärme zur Kühlung abzuleiten.eine Kombination aus einseitigen und turbulenten LuftverteilungsformenIm Bereich der Lithographie wird der Staub mit einem vertikalen einseitigen Fluss mit einer stabilen Durchflussgeschwindigkeit (0,3 - 0,5 Meter pro Sekunde) präzise abgetragen.die Turbulentströmungslüftung ist so eingerichtet, dass die Luft effizient ersetzt wird,Die Materialien für die Lüftungskanäle werden unter Berücksichtigung der Brandsicherheit, der Rostsicherheit und der geringen Luftleckage ausgewählt. Fans are accurately selected according to the scale of the workshop and the frequency of air changes to ensure that the air volume and air pressure are suitable and maintain the orderly flow of air and dilute the concentration of harmful substances.
V. Angemessene Anordnung der Prozessgeräte
Der Vorbereitungsprozess von tiefblauem Galliumoxid ist komplex, und Lithographie-Maschinen, Radiermaschinen, chemische Dampfdepositionsausrüstung usw. variieren in Größe, Gewicht,und spezielle Anforderungen an Vibrationen während des Betriebs und WärmeabbauDie Anordnung der Werkstatt entspricht dem Prinzip "smooth process flow and non-interference between equipment".und schwere Ausrüstung in Gebieten mit guter Belastbarkeit und ausgezeichneter StoßdämpfungDie Wärmeabbau-Kanäle sind reserviert und die Kühlvorrichtungen sind entsprechend den Wärmeabbau-Kurven der Ausrüstung installiert.Die Abstände zwischen benachbarten Anlagen sind angemessen, um die Wartung zu erleichtern., Betrieb und Debugging, die eine effiziente Verbindung von Geräten und eine stabile Produktion hochwertiger Halbleiterprodukte ermöglichen.
VI. Verbesserung der Personalverwaltung und -bildung
Die Menschen sind ein wichtiger Faktor für den Betrieb der Werkstatt, aber sie sind auch eine potenzielle Verschmutzungsquelle.Das Personal, das den staubfreien Reinraum für tiefblaues Galliumoxid betritt, muss eine strenge Verbandung durchlaufen, von der Staubentfernung in der Luftdusche bis hin zum Tragen steriler Schutzkleidung, Masken und Handschuhe, Schicht für Schicht zur Reinigung.Eine regelmäßige Berufsausbildung wird durchgeführt, um die Kenntnisse der Mitarbeiter über Halbleiterprozesse zu stärken., Betriebsnormen in Reinräumen und die Fähigkeit, auf Notfälle zu reagieren.Neue Mitarbeiter erhalten von erfahrenen Kollegen praktische Anleitungen, um die Einzelheiten des Materialumsatzes und des Betriebs von Geräten zu beherrschen, wodurch die Wahrscheinlichkeit einer Kontamination des Produkts und der durch menschliche Fehler verursachten Schäden verringert wird.
Der Bau von staubfreien Reinräumen für tiefblaue Gallium-Oxid-Halbleiter ist sowohl eine Herausforderung als auch eine Chance. , Ltd. stützt sich auf seine reiche Projekterfahrung, professionelles technisches Team und hochwertige Reinigungsprodukte, um Lösungen für den gesamten Prozess individuell zu gestalten.Bau bis zum späteren Betrieb und WartungWir werden uns genau bemühen, den Unternehmen zu helfen, sich die Oberfläche in der tiefblauen Gallium-Oxid-Industrie zu erobern.Wenn Sie ein solches Workshop-Projekt planen oder Fragen zu den Bauteilen habenBitte kontaktieren Sie uns sofort und lassen Sie uns zusammenarbeiten, um ein neues Modell sauberer Halbleiterherstellung zu schaffen.