Letzter Unternehmensfall über Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Zertifizierungen

Im hochmodernen Bereich der Halbleiterfertigung kann jede noch so geringe Veränderung in der Produktionsumgebung entscheidende Auswirkungen auf die Produktqualität haben. Als professioneller Hersteller mit jahrelanger, fundierter Erfahrung in der Reinraumausrüstungsindustrie versteht Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. die zentrale Bedeutung der Luftstrom-Differenzdruckkontrolle in Halbleiter-Reinräumen. Heute werden wir die Lösungen zur Luftstrom-Differenzdruckkontrolle für Halbleiter-Reinräume umfassend analysieren, um Ihnen bei der Schaffung einer stabilen und effizienten Produktionsumgebung zu helfen.

Der Herstellungsprozess von Halbleiterchips ist äußerst empfindlich. Sobald Schadstoffe wie Staubpartikel und Mikroorganismen eingemischt werden, können sie schwerwiegende Probleme wie Kurzschlüsse und Unterbrechungen in Chips verursachen. Nehmen wir als Beispiel den Lithografieprozess von Chips mit fortschrittlichen Verfahren. Die Linienbreite auf den Chips hat das Nanometerniveau erreicht. Ein Staubpartikel mit einem Durchmesser von nur 0,1 Mikrometern reicht aus, um Abweichungen im Lithografiemuster zu verursachen, was zur Verschrottung von Chips führt. Durch die sinnvolle Gestaltung des Luftstrom-Differenzdrucks und die Aufrechterhaltung eines Überdrucks im Reinraum können externe Schadstoffe effektiv blockiert werden, wodurch eine unsichtbare Schutzbarriere für die Chip-Produktion geschaffen wird.

Die Halbleiterfertigung umfasst eine Vielzahl komplexer Prozesse wie Lithografie, Ätzen und Dotieren. Jeder Prozess hat unterschiedliche Anforderungen an Umgebungstemperatur, Luftfeuchtigkeit und Sauberkeit. Ein stabiler Luftstrom-Differenzdruck kann sicherstellen, dass die Umgebungsparameter jedes Bereichs stets innerhalb des vom Prozess geforderten Bereichs gehalten werden, was eine solide Garantie für den reibungslosen Ablauf des Prozesses darstellt. Wenn der Luftstrom im Ätzprozess instabil ist, ist die Verteilung des Ätzgases ungleichmäßig, was zu inkonsistenten Ätzraten führt und die Ätzgenauigkeit und Produktqualität der Chips ernsthaft beeinträchtigt.

• Kernproduktionsbereich: In diesem Bereich werden Schlüsselprozesse wie Lithografie, Ätzen und Dotieren durchgeführt. Hier sind die Anforderungen an Sauberkeit und Überdruck extrem hoch. Es wird empfohlen, dass der Druck im Kernproduktionsbereich 15 - 25 Pa höher ist als in den angrenzenden Nebenbereichen, wodurch das Risiko des Eindringens externer Schadstoffe minimiert und sichergestellt wird, dass der Chip-Herstellungsprozess nicht durch Verunreinigungen gestört wird.
• Nebenproduktionsbereich: Nebenbereiche wie der Materialzwischenlagerbereich und der Wartungsbereich für Geräte müssen, obwohl die Sauberkeitsanforderungen etwas geringer sind als im Kernproduktionsbereich, dennoch einen gewissen Überdruck aufrechterhalten. Im Allgemeinen ist er 5 - 10 Pa höher als in Bereichen wie gewöhnlichen Korridoren, um zu verhindern, dass Schadstoffe in den Korridoren in den Nebenbereich gelangen und die Umgebung des Kernproduktionsbereichs gefährden.
• Personal- und Materialschleusen: Für die Schleusen, durch die Personal und Materialien die Werkstatt betreten und verlassen, muss ein sinnvoller Differenzdruckgradient sorgfältig eingestellt werden, um einen effektiven Luftschleuseneffekt zu erzielen. Beim Betreten des Reinraums aus dem unreinen Bereich nimmt der Druck mit jeder durchlaufenen Tür allmählich zu, was wie Schichten von Kontrollpunkten wirkt und Schadstoffe effektiv daran hindert, zusammen mit Personal und Materialien in den Reinraum zu gelangen.

• Hochpräzise Drucksensoren: Die von Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. unabhängig entwickelten hochpräzisen Drucksensoren haben eine hervorragende Leistung. Ihre Messgenauigkeit kann ±0,1 Pa erreichen, wodurch die Druckänderungen in jedem Bereich der Werkstatt in Echtzeit genau erfasst werden können, wodurch sichergestellt wird, dass anormale Druckschwankungen sofort erkannt werden und eine solide Grundlage für die Ergreifung rechtzeitiger Gegenmaßnahmen geschaffen wird.
• Intelligentes Lüftungssteuerungssystem: Dieses System ist eng mit hochpräzisen Drucksensoren verbunden. Entsprechend den voreingestellten Differenzdruckwerten kann es die Lüfterdrehzahl und die Ventilöffnung automatisch und präzise anpassen und so eine intelligente und verfeinerte Steuerung des Luftstroms erreichen. Sobald festgestellt wird, dass der Druck in einem bestimmten Bereich niedriger als der eingestellte Wert ist, reagiert das System schnell und erhöht automatisch das Luftzufuhrvolumen oder reduziert das Luftabsaugvolumen, um den Druck schnell wieder auf das normale Niveau zu bringen.

Kalibrieren Sie die Drucksensoren alle sechs Monate streng, um die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Messdaten zu gewährleisten. Führen Sie gleichzeitig regelmäßig eine umfassende Inspektion der Lüftungsanlagen durch, überprüfen Sie sorgfältig, ob die Lüfterräder abgenutzt sind, ob sich die Ventile normal öffnen und schließen lassen usw., und ersetzen Sie die alternden oder beschädigten Komponenten rechtzeitig, um sicherzustellen, dass sich die Geräte stets im besten Betriebszustand befinden.

Führen Sie eine systematische Schulung zum Wissen über die Luftstrom-Differenzdruckkontrolle für die Werkstattmitarbeiter durch, damit diese die Bedeutung der Differenzdruckkontrolle und die Behandlungsmethoden bei anormalen Situationen eingehend verstehen. Wenn ein Differenzdruckalarm ausgelöst wird, können die Mitarbeiter die möglichen Ursachen, wie z. B. Geräteausfälle und Lecks in den Rohrleitungen, schnell analysieren und rechtzeitig wirksame Gegenmaßnahmen ergreifen, um die Kontinuität und Stabilität der Werkstattproduktion zu gewährleisten.

Erstellen Sie ein professionelles Datenüberwachungssystem für den Luftstrom-Differenzdruck und führen Sie eine eingehende Analyse der langfristig angesammelten Druckdaten durch. Durch die Datenanalyse können potenzielle Probleme scharf erkannt werden. Wenn beispielsweise der Druck in einigen Bereichen häufig schwankt, kann dies auf Geräteausfälle oder eine unvernünftige Luftverteilung zurückzuführen sein, und dann können gezielte Optimierungsanpassungen vorgenommen werden, um die Lösungen zur Luftstrom-Differenzdruckkontrolle kontinuierlich zu verbessern.

Mit profunder technischer Akkumulation und reicher Projekterfahrung kann Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. nicht nur hochwertige Reinigungsgeräte liefern, sondern auch eine umfassende Palette von Lösungen zur Luftstrom-Differenzdruckkontrolle und umfassende Wartungsdienste für Ihren Halbleiter-Reinraum anpassen. Wenn Sie planen, einen Halbleiter-Reinraum zu bauen oder während des Betriebs einer bestehenden Werkstatt auf verwandte Probleme stoßen, können Sie sich gerne an uns wenden. Lassen Sie uns gemeinsam eine branchenführende, saubere Produktionsumgebung für Halbleiter schaffen und zur Entwicklung der Halbleiterindustrie beitragen.