In der Fertigung von Halbleitern kann jede geringfügige Veränderung der Produktionsumgebung entscheidende Auswirkungen auf die Produktqualität haben.Als professioneller Hersteller mit langjähriger Erfahrung in der Reinigungsindustrie, Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. versteht tief die Kernposition der Luftstromdruckdifferenzkontrolle in Halbleiter-Cleanrooms.Wir analysieren umfassend die Lösungen zur Steuerung des Luftdurchflussdruckunterschieds für Halbleiterreinigungsräume, die Ihnen helfen, eine stabile und effiziente Produktionsumgebung zu schaffen.
Luftstromdruckdifferenzkontrolle: Die wichtigste Verteidigungslinie in der Halbleiterproduktion
Widerstand gegen den Einmarsch von Schadstoffen
Der Herstellungsprozess von Halbleiterchips ist äußerst heikel.Sie können schwere Probleme wie Kurzschlüsse und offene Schaltkreise in Chips verursachen.Die Liniebreite der Chips hat den Nanometer erreicht. Ein Staubpartikel mit einem Durchmesser von nur 0.1 Mikrometer reicht aus, um Abweichungen im Lithographie-Muster zu verursachenDurch eine vernünftige Konstruktion des Luftdurchflussdruckunterschieds und die Aufrechterhaltung des Reinraums in einem positiven Druckzustand können äußere Schadstoffe wirksam blockiert werden.Aufbau einer unsichtbaren Schutzbarriere für die Chipproduktion.
Sicherstellung eines stabilen Prozessbetriebs
Die Halbleiterherstellung umfasst eine Vielzahl komplexer Prozesse wie Lithographie, Ätzen und Doping.und SauberkeitEine stabile Luftdurchflussdruckdifferenz kann sicherstellen, daß die Umweltparameter jedes Bereichs stets im für den Prozeß erforderlichen Bereich bleiben.eine solide Garantie für den reibungslosen Ablauf des ProzessesBei dem Ätzverfahren ist die Verteilung des Ätzgases ungleichmäßig, wenn der Luftstrom instabil ist.die zu inkonsistenten Ätzraten führt und die Ätzgenauigkeit und Produktqualität der Chips ernsthaft beeinträchtigt.
Präzise Lösungen zur Steuerung von Luftstromdruckunterschieden zur Schaffung eines reinen Produktionsraums
Wissenschaftliche Bereichsabteilung und präzise Druckdifferenzierung
- Kernproduktion: Hier werden wichtige Prozesse wie Lithographie, Radierung und Doping durchgeführt.Es wird empfohlen, dass der Druck im Kernproduktionbereich 15 - 25 Pa höher ist als in den benachbarten Nebenbereichen., wodurch die Gefahr einer Eindringung durch externe Schadstoffe minimiert und sichergestellt wird, dass der Chipherstellungsprozess nicht durch Verschmutzung gestört wird.
- Hilfsproduktion: Hilfsbereiche wie die vorübergehende Lagerfläche für Material und die Instandhaltungsfläche für Ausrüstung, wobei die Anforderungen an die Sauberkeit geringfügig niedriger sind als in der Kernfläche,Sie müssen immer noch einen bestimmten positiven Druck aufrechterhalten.Im Allgemeinen,Es ist 5 - 10 Pa höher als in Bereichen wie normalen Korridoren, um zu verhindern, dass Schadstoffe in den Korridoren in das Hilfsgebiet gelangen und die Umwelt des Kernproduktionsgebiets gefährden..
- Personal- und Materialpassagen: Für die Durchgänge, in denen Personal und Materialien in die Werkstatt ein- und aussteigen, muss ein angemessener Druckdifferenzverlauf sorgfältig eingestellt werden, um eine wirksame Luftsperre zu erzeugen.Wenn man vom nicht sauberen Bereich in den sauberen Bereich kommt, steigt der Druck mit jeder Tür allmählich an und wirkt wie eine Schicht von Kontrollpunkten, die effektiv verunreinigende Stoffe zusammen mit Personal und Materialien vom Cleanroom abschließen.
Auswahl fortschrittlicher Geräte zur Präzisionssteuerung
- Hochpräzise Drucksensoren: Die von der Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. unabhängig entwickelten hochdruckgenauen Drucksensoren haben eine hervorragende Leistung.Sie kann die Druckänderungen in jedem Bereich der Werkstatt in Echtzeit genau erfassen., so dass ungewöhnliche Druckschwankungen sofort erkannt und eine solide Grundlage für rechtzeitige Gegenmaßnahmen geschaffen werden.
- Intelligentes Lüftungssteuerungssystem: Dieses System ist eng mit hochpräzisen Drucksensoren verbunden und kann automatisch und präzise die Lüftergeschwindigkeit und die Ventilöffnung entsprechend den vorgegebenen Druckdifferenzwerten anpassen.Erreichung einer intelligenten und raffinierten Steuerung des LuftstromsSobald es erkennt, dass der Druck in einem bestimmten Bereich unter dem eingestellten Wert liegt, reagiert das System schnell.automatisch das Luftvolumen erhöhen oder das Abluftvolumen reduzieren, um den Druck schnell wieder auf das normale Niveau zu bringen.
Umfassende Wartung und Verwaltung zur kontinuierlichen Sicherung der Stabilität des Druckunterschieds
Regelmäßige Kalibrierung und Wartung zur Gewährleistung der Leistung der Ausrüstung
Die Drucksensoren sind alle sechs Monate streng zu kalibrieren, um die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Messdaten zu gewährleisten.regelmäßig eine umfassende Inspektion der Lüftungsanlage durchführen, prüfen Sie sorgfältig, ob die Ventilatorräder abgenutzt sind, ob sich die Ventile normal öffnen und schließen können usw.und die veralteten oder beschädigten Komponenten rechtzeitig ersetzen, um sicherzustellen, dass die Ausrüstung immer im besten Betriebszustand ist.
Berufsausbildung zur Verbesserung der Fähigkeiten des Personals
Durchführung systematischer Schulungen für die Mitarbeiter der Werkstatt über die Kenntnisse zur Steuerung von Luftdurchflussdruckunterschieden;Sie sollen die Bedeutung der Steuerung von Druckunterschieden und die Handhabungsmethoden bei abnormalen Situationen verständlich machenWenn ein Druckdifferenz-Alarm auftritt, kann das Personal schnell die möglichen Ursachen analysieren, wie z. B. Ausfall von Geräten und Lecks in Rohrleitungen.und rechtzeitig wirksame Gegenmaßnahmen ergreifen, um die Kontinuität und Stabilität der Werkstattproduktion zu gewährleisten.
Die Analyse der Daten und die kontinuierliche Optimierung der Lösungen
Es ist wichtig, eine professionelle Überwachung der Luftströmungsdruckdifferenz zu entwickeln und die langfristigen Druckdaten zu analysieren.Potenzielle Probleme können deutlich erkannt werdenWenn beispielsweise der Druck in einigen Bereichen häufig schwankt, kann dies auf Ausfall der Ausrüstung oder eine unangemessene Luftverteilung zurückzuführen sein.und dann gezielte Optimierungsanpassungen vorgenommen werden können, um die Luftstromdruckdifferenzregelungslösungen kontinuierlich zu verbessern.
Mit einer umfassenden technischen Akkumulation und reicher Projekterfahrung hat die Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. can not only provide high - quality purification equipment but also customize a full - range of airflow pressure difference control solutions and complete post - maintenance services for your semiconductor cleanroomWenn Sie planen, einen Halbleiter-Reinigungsraum zu bauen oder während des Betriebs einer vorhandenen Werkstatt Probleme damit verbunden sind, können Sie uns gerne kontaktieren.Lasst uns zusammenarbeiten, um eine branchenführende, saubere Produktionsumgebung für Halbleiter zu schaffen und zur Entwicklung der Halbleiterindustrie beizutragen..